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ITO用作铁电薄膜电极的研究

李金华 , 陈汉松 , 李坤 , 汤国英 , 陈王丽华

功能材料

研究了sol-gel掺锡氧化铟(ITO)溶胶在SiO2/Si衬底和光学玻璃衬底上的成膜及结晶性能,并与CVD法生长的ITO薄膜作了对比.结论是,sol-gel ITO膜,虽然具有与CVDITO膜相似的结晶性能和较高的导电性,但以sol-gel ITO膜作下电极,无法使PLT、PZT的sol-gel膜...

关键词: ITO薄膜 , 铁电电容电极 , Sol-Gel法