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室温下金刚石薄膜上沉积立方氮化硼薄膜的研究

冯健 , 徐闰 , 汤敏燕 , 张旭 , 乐永康 , 王林军

人工晶体学报

采用射频磁控溅射技术分别在纳米与微米金刚石薄膜上制备立方氮化硼(c- BN)薄膜.金刚石薄膜由拉曼光谱(Raman)及原子力显微镜(AFM)进行表征.采用傅立叶变换红外光谱(FTIR)研究了不同沉积温度对c- BN薄膜生长的影响,结果表明在金刚石薄膜上生长c- BN不存在温度阈值,室温下生长的c- ...

关键词: BN薄膜 , 金刚石薄膜 , 射频磁控溅射