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不锈钢基体上制备Al2O3涂层的研究

汤梅 , 李弢 , 古宏伟 , 杨旭东

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2008.05.011

在核反应堆液态Li-Pb包层中,涂层的研究和发展是重要的内容.由于Al2O3涂层高电阻率的特性及与液态Li-Pb有良好的兼容性,所以成为陶瓷涂层中的最佳候选材料之一.采用射频磁控溅射法,在奥氏体不锈钢基体上制备了Al2O3涂层,并且研究了分别于800和1000℃进行热处理时温度对涂层的相组成、表面形貌、界面组织及绝缘电阻率的影响.结果表明,Al2O3涂层组织致密、均匀.经1000℃热处理后主要组成相为具有高温热稳定性能的α-Al2O3和少量的γ-Al2O3.不锈钢基体与Al2O3涂层层间界面结合良好可能是由于经退火处理后出现新生FeAl相,提高了涂层与基体的结合强度;涂层电阻率在1×1012~1×1014Ω·cm,绝缘性能良好.

关键词: 核反应堆 , 液态Li-Pb包层 , 涂层 , 热处理 , 电阻率

316L不锈钢基体上磁控溅射Er2O3//Er涂层的后处理研究

杨旭东 , 李弢 , 古宏伟 , 汤梅

中国稀土学报

采用磁控溅射的方法在316L不锈钢表面制备了氧化铒涂层.选用金属铒作为过渡层,研究了不同热处理温度对涂层相组成、表面形貌以及涂层与基底结合情况的影响.XRD,SEM及膜基结合力分析结果表明,带有过渡层的氧化铒涂层表面致密、均匀,退火处理使氧化铒结晶性能提高,经过800℃热处理,生成了金属间化合物ErFe3提高了涂层与基底的结合强度.绝缘电阻率测试结果表明.Er2O3涂层绝缘电阻率在1×1013~1×1015Ω·cm,绝缘性能良好.

关键词: 磁控溅射 , 316L不锈钢 , 涂层 , 热处理 , 膜基结合力 , 稀土

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