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纳米氧化锌掺铝薄膜的微观结构研究

王明光 , 杨慧 , 汪嘉恒 , 宁策 , 徐奕辰 , 祁阳

功能材料

采用溶胶-凝胶(sol-gel)法在玻璃衬底上制备了纳米ZnO掺铝薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了系统的研究.结果表明,所有在玻璃衬底上生长的ZnO薄膜均具有c轴择优取向.掺杂量为2％(原子分数)时,Al在ZnO薄膜中达到最高水平.过量Al掺杂明显减弱薄膜的...

关键词: ZnO薄膜 , 微观结构 , 溶胶-凝胶 , Al掺杂 , 自组装机制