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适用于纳米电子器件的超长硅纳米线合成

陈扬文 , 江素华 , 刘丽蓓 , 邵丙铣 , 顾志光 , 戎瑞芬 , 汪荣昌

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.06.004

采用SiO为起始原料、Ar为载气,蒸发温度1300℃、压力1~2×104Pa的生长条件下,成功地合成了超长的单晶硅纳米线;以SiO和P2O5混合粉末为起始原料时在相同的生长条件下实现了对硅纳米线的掺杂;借助电感耦合等离子体质谱仪(ICPMS)分析了硅纳米线P掺杂效果;利用扫描电镜(SEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)、X射线衍射仪(XDR)等检测手段对硅纳米线进行了形貌和结构的表征,测试结果表明在不同的沉积区域硅纳米线具有大致相同的直径,但其长度随着温度的升高而变长,在1180℃的生长区域,硅纳米线的长度达到了150ìm;硅纳米线表面氧化层经HF和NH4F混合溶液处理后被完全剔除.

关键词: 超长硅纳米线 , 热蒸发 , 掺杂

低温共烧氮化铝复合材料基板的银金属化研究

李勇 , 汪荣昌 , 戎瑞芬 , 顾之光 , 廖淼

功能材料

基于氮化铝陶瓷基片厚膜导体浆料理论,开发出应用于低温共烧氮化铝流延坯、硼硅酸盐玻璃粘结相的银浆,并系统研究了共烧过程,解决了常见的导线球化问题.成功地进行了3层氮化铝复合材料基板的低温共烧银金属布线.

关键词: 氮化铝 , 复合材料 , 银浆 , 低温共烧 , 球化

稳健估计用于氮化铝金属化工艺的研究

胡向洋 , 汪荣昌 , 邵丙铣 , 宗祥福

功能材料

应用化学镀镍的方法实现了氮化铝的金属化.为得到较大的氮化铝金属化层粘附力,运用基于稳健估计的神经网络研究氮化铝金属化中化学镀镍的反应参数与金属层粘附力的关系.为使神经网络更加稳健,本文根据统计学原理,在前馈神经网络基础上,采取稳健估计方法改进神经网络.建立了定量预测粘附力性能的模型,并进行实验验证.确定金属化工艺中稳定的优化工作区域.结果表明,稳健估计方法既有传统神经网络的优点,又有较强的抵抗异常值的能力,具有较广泛的实用性.

关键词: 神经网络 , 稳健估计 , 化学镀镍

应用于蓝牙技术发展的LTCC——AlN多层布线工艺

汪荣昌 , 顾志光 , 戎瑞芬 , 李勇 , 邵丙铣 , 宗祥福

功能材料

现代IT产业的发展催生了蓝牙技术的发展.而蓝牙技术的发展迫切需要发展高性能三维功能衬底技术.AlN陶瓷具有优良的综合性能.研究了AIN流延坯和Ag导体浆料的低温共烧技术,比较了在AlN成瓷基板上的各种金属化工艺.

关键词: AlN , LTCC , 蓝牙

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