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表面光电压法研究抛光硅片制造中铁沾污的来源

罗俊一 , 沈益军 , 李刚 , 刘培东 , 张锦心 , 包宗明 , 黄宜平

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.01.018

铁杂质是硅片制造过程中常见的重金属沾污，表面光电压(SPV)法可很好地用于测定P型硅中铁杂质。本文通过SPV法测试不同流程制造的P型抛光硅片中的铁沾污，找到了在P型抛光硅片制造工艺过程中引入铁沾污的主要来源。

关键词: 表面光电压法 , 铁杂质 , 抛光硅片

直拉重掺硼硅单晶的研究进展

李春龙 , 沈益军 , 杨德仁 , 马向阳 , 余学功 , 阙端麟

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.03.011

系统介绍了直拉重掺硼(B)硅单晶研究的最新进展.主要内容包括重掺B硅单晶的基本性质,利用重掺B籽晶进行无缩颈硅单晶生长技术,重掺B硅单晶的机械性能,重掺B硅单晶中的氧和氧沉淀,以及B的大量掺杂与大直径直拉硅单晶中空洞型(Void)原生缺陷的控制关系.在此基础上,探讨了当前直拉重掺B硅单晶生产和研究中存在的主要问题.

关键词: 直拉硅 , 重掺硼 , 氧 , 缩颈

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