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模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场与流场研究

薛海鹏 , 卢文壮 , 沈飞荣 , 孙达飞 , 王浩 , 左敦稳

人工晶体学报

本文通过有限元仿真研究了模具法制备CVD金刚石热沉片的温度场和流场,并对制备参数进行了优化.实验与仿真的结果均表明,进气量的大小对衬底附近流场的均匀性影响显著,热丝温度、热丝间距以及热丝到衬底的距离对衬底的平均温度影响显著,热丝间距和热丝温度对衬底温度的均匀性影响显著；模具法制备的CVD金刚石复制了...

关键词: 模具 , CVD金刚石 , 热沉 , 温度场 , 流场