阙端麟
,
杨德仁
,
沈德忠
,
洪啸吟
材料导报
我国微电子技术和产业与西方发达国家相比,有明显差距.这主要是由于靠仿制或进口,忽视了创新性和学科交叉研究等原因.但是我国也有一些与微电子有关的研究取得了十分重要的成果,如可用于0.1μm超大规模集成电路的微氮单晶硅研制,可作为193 nm紫外光光源用的非线性光学晶体硼酸铯锂的制备,无显影气相光刻技术...
关键词:
微电子
,
单晶硅
,
非线性学光晶体
,
光刻
,
超大规模集成电路
陈其道
,
卢建平
,
洪啸吟
材料研究学报
导电高分子材料在电子和光电子领域有广泛的用途,通过引入侧链、共聚或中间体转换等方法可以制备可溶性导电高分子,从而提高其加工性能,光化学原位成形是加工导电高分子的新方法,通过该法可以获得微米级导电线条。本文还论及导电高分子的导电机理。
关键词:
导电高分子
