丁继亮
,
常洪龙
,
陈方璐
,
洪水金
,
苑伟政
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.03.002
聚二甲基硅氧烷(PDMS)的表面改性与键合是微流控芯片制作中的关键技术之一.本文比较分析了PDMS常用表面改性方法的优缺点,利用电晕放电仪在常温环境下产生的氧等离子体实现了对PDMS表面改性及不可逆键合,优化了电晕放电仪的表面处理参数,重点测试了PDMS分别与PDMS和PMMA之间的键合强度.并与紫...
关键词:
PDMS
,
表面改性
,
键合
,
微流控
