张溪文
,
董博
,
洪炜
,
娄骁
,
张守业
,
韩高荣
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.03.035
本文简要介绍了磁光隔离器的理论、结构和分类,并提出了该器件今后发展的几个问题,最后介绍了几种磁光材料.
关键词:
光隔离器
,
磁光材料
,
法拉第旋转角
,
薄膜
洪炜
,
朱丽萍
,
叶志镇
,
唐海平
,
倪贤锋
,
赵浙
材料导报
由于硅具有价格低、热导率高、大直径单晶生长技术成熟等优势以及在光电集成方面的应用潜力,GaN/Si基器件成为一个研究热点.然而,GaN与Si之间的热失配容易引起薄膜开裂,这是限制LED及其它电子器件结构生长的一个关键问题.近年来,随着工艺的发展,GaN晶体质量得到大幅度的提高.同时不少研究小组成功地在Si衬底上制造出LED.介绍了GaN薄膜开裂问题及近期硅衬底GaN基LED的研究进展.
关键词:
硅衬底 GaN LED 薄膜开裂
