肖晓玲
,
洪瑞江
,
林松盛
,
李洪武
,
侯惠君
材料科学与工程学报
本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,分别以石墨和甲烷气体为碳源,制备TiC/a-C多层膜.利用X-射线衍射仪、透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等实验手段对所沉积的TiC/a-C多层膜的组织形态、结构及成份进行了分析.结果表明:所制备的两种TiC/a-C薄膜中,TiC的晶粒呈柱状生长;用溅射石墨...
关键词:
TiC/a-C薄膜
,
非平衡磁控溅射
,
组织形态
张馨
,
肖晓玲
,
洪瑞江
,
罗承萍
,
林松盛
机械工程材料
利用非平衡磁控溅射与离子源复合沉积技术,以高纯甲烷和氮气作反应气体,钨为溅射靶,在40Cr、Si(100)基片和不锈钢基体上分别制备了厚度约为2μm的掺杂钨类金刚石膜,并在类金刚石膜与基体间沉积了过渡层;应用X射线衍射、拉曼光谱、俄歇电子能谱等手段分析了掺杂钨类金刚石膜的显微结构和表面成分;应用球盘...
关键词:
非平衡磁控溅射
,
掺杂钨
,
类金刚石膜
,
摩擦因数
张姣姣
,
余志明
,
洪瑞江
,
侯惠君
机械工程材料
采用自制的LD-650型直流等离子体增强化学气相沉积炉在不同渗氮工作气压下对H13钢进行了离子渗氮处理,研究了工作气压对该钢渗氮层组织及性能的影响.结果表明:渗氮工作气压显著影响渗氮层的厚度,随着工作气压的升高,渗氮层中化合物层厚度呈现先增加后减小的趋势,在1 066 Pa下达到极大值9μm;工作气...
关键词:
工作气压
,
离子渗氮
,
H13模具钢
王浩
,
黄荣芳
,
洪瑞江
,
吴杰
,
闻立时
材料研究学报
对离子束增强反应磁控溅射低温沉积AIN 膜层组织形貌、晶体结构、电子结构及其光学特性进行了研究。结果表明膜层组织均匀,晶粒细小,薄膜AIN 是呈(002)择优取向的密排六方结构。由于Al-N 键的形成,使Al 的2p 轨道电子结合能发生2.6eV 的化学位移。薄膜在可见光区域有很高的透射率,在紫外区...
关键词:
薄膜
,
AIN
,
magnetron sputtering
陶路平
,
陈达明
,
洪瑞江
材料导报
背面点接触结构晶体硅太阳电池是实验室高效电池的一种.介绍了目前研究较多的两种背面点接触晶体硅太阳电池,比较了几种背部结构的设计方法和制造工艺,包括背面钝化层的材料选择、背反射层的光学性能、去背结技术以及点电极结构的设计等.并展望了背面点接触太阳电池在工业生产上的前景.
关键词:
背面点电极
,
晶体硅太阳电池
,
背而钝化
