钟林瑛
,
洪荣墩
,
林伯金
,
蔡加法
,
陈厦平
,
吴正云
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2011.06.017
应用ATLAS模拟软件,设计了吸收层与倍增层分离的(SAM)4H-SiC雪崩光电探测器(APD)结构.分析了不同外延层厚度和掺杂浓度对器件光谱响应的影响,对倍增层参数进行优化模拟,得出倍增层的最优化厚度为0.26 μm,掺杂浓度为9.0×1017 cm-3.模拟分析了该APD的反向IV特性、光增益、...
关键词:
光电子学
,
4H-SiC
,
APD
,
光谱响应
,
探测率
张自锋
,
张志威
,
洪荣墩
,
陈厦平
,
吴正云
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2015.06.006
在常温下,用射频磁控溅射在石英衬底上沉积厚度约为200 nm的TiO2薄膜,使用波长为248 nm的KrF脉冲激光器,在不同功率密度下对薄膜样品进行辐照退火处理,并采用X射线衍射(XRD)、拉曼(Raman)、X射线电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨率扫描隧...
关键词:
激光技术
,
KrF脉冲激光
,
薄膜
,
TiO2
,
光学特性
