范永中
,
张淑娟
,
涂金伟
,
孙霞
,
刘芳
,
李明升
金属学报
doi:10.3724/SP.J.1037.2011.00292
分别在未施加偏压和施加-100V偏压条件下,利用磁控溅射技术在压气机叶片用1Cr11Ni2W2MoV热强不锈钢基体上沉积了Ti0.3Al0.7N和Ti0.3gAl0.55Si0.05Y0.01N硬质涂层.实验结果表明,施加偏压及Si和Y掺杂明显改变了涂层的相结构,提高了涂层致密度,施加-100 V偏...
关键词:
磁控溅射
,
(Ti,Al)N
,
Si和Y掺杂
,
抗氧化性能
,
硬度
,
结合力
