赵晓锋
,
温殿忠
,
王天琦
,
丁玉洁
功能材料
以高纯SiH4为气源,采用低压化学气相沉积方法在p型〈100〉晶向单晶硅上620℃制备纳米多晶硅薄膜,对不同薄膜厚度纳米多晶硅薄膜分别在700、800、900℃进行高温真空退火,通过X射线衍射(XRD)、Raman光谱(Raman)、场发射扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)研究薄膜厚度...
关键词:
纳米多晶硅薄膜
,
结构特性
,
LPCVD
,
退火
艾春鹏
,
赵晓锋
,
白忆楠
,
冯清茂
,
温殿忠
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.增刊(Ⅱ).015
研究射频磁控溅射法制备ZnO 薄膜,采用X射线衍射仪(XRD)和场发射扫描电子显微镜(SEM)研究溅射功率、溅射时间和退火温度对薄膜微结构特性的影响,并分析ZnO 薄膜阻变特性.实验结果表明,沉积态薄膜择优取向为?002?晶向,随溅射功率和退火温度增加,择优取向显著增强,溅射功率120 W时薄膜生长...
关键词:
ZnO薄膜
,
射频磁控溅射
,
微结构
,
阻变特性
温殿忠
,
温泉
,
陈国智
工程热物理学报
本文概要介绍了株洲航空动力机械研究所在90年代中期引进每秒10亿次运算速度的计算机后，建立了以二维叶片造型和三维粘性数值计算为核心的小发压气机CFD设计系统。用新建立的CFD设计系统进行了单级和双级压气机设计并进行了试验验证。试验结果证明，使用该系统能够完成高性能小型轴流压气机设计。
关键词:
小发轴流压气机
,
CFD
,
设计系统
