黄德文
,
游利兵
,
梁勖
,
余吟山
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2009.01.007
针对光刻用准分子激光器的激励技术,利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析,验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用.耦合系数越接近于1,高压充电时间越短.介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程,并提出了一种控制谐振充电的方法.实现了对高压电容50μs内的快充电.
关键词:
激光技术
,
脉冲升压式电源
,
拉普拉斯变换
,
高重复率
,
光刻
游利兵
,
周翊
,
梁勖
,
余吟山
,
方晓东
,
王宇
量子电子学报
doi:10.3969/J.issn.1007-5461.2010.05.002
193nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产.分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振-功率再生放大(MOPRA)结构,主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术.对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论.
关键词:
激光技术
,
ArF准分子激光
,
光刻
,
双图形
赵家敏
,
游利兵
,
余吟山
,
方晓东
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2013.06.009
实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用.分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术,如大面积均匀放电技术,预电离技术,高压快脉冲激励技术以及为了得到更大的脉冲能量及功率输出而采用的双腔同步技术.
关键词:
激光技术
,
准分子激光
,
大能量
,
高功率
,
磁脉冲压缩
,
激光退火
秦娟娟
,
董伟伟
,
周曙
,
游利兵
,
方晓东
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2014.01.001
极紫外光刻是采用波长为13.5 nm的极紫外光作为光源,实现半导体集成电路工艺22 nm以及更窄线宽节点的主要候选光刻技术.性能优越稳定的多层膜技术是构建整个极紫外光刻系统的重要技术之一.从高反射率、波长匹配、控制面形以及稳定性和寿命方面总结了极紫外光刻系统中多层膜的性能要求和最新的研究进展,叙述了制备高性能多层膜的方法和沉积设备,讨论了多层膜制备技术存在的问题和发展的方向.
关键词:
激光技术
,
极紫外光刻
,
极紫外多层膜
,
沉积方法
邱红松
,
游利兵
,
王庆胜
,
尹广玥
,
方晓东
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2016.03.006
分别研究了Ne、F2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F2分压对脉冲能量输出的影响非常明显.工作气体中Kr参与的三体碰撞过程占主导地位,激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系.当充电电压为28.7 kV,在最优化工作气体分压(F2∶He∶Kr∶Ne=0.315∶5.985∶19.5∶305 kpa)下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ,全电效率为1.64％.
关键词:
激光技术
,
KrF准分子激光器
,
气体分压优化
,
气体混合物
,
缓冲气体
梁勖
,
游利兵
,
余吟山
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2010.03.005
介绍了一种基于热释电探头的准分子激光能量检、测系统,实现了对0～200 Hz重复率运行的准分子激光单个脉冲及多脉冲系列的能量实时检测.它由探头、放大、峰值保持、MCU、显示和通讯几部分组成,解决了闸流管放电强电磁干扰等难点,并在193 nmArF和248 nmKrF准分子激光器上进行了测试:响应时间4ms、分辨率10μJ、灵敏度O.5 V/mJ、精度±3%.本系统既可作为能量计使用,也可以作为检测环节用于脉冲能量闭环稳定系统中,如采用响应速度更高的光电管,有望实现高重复率准分子激光光源的实时脉冲能量检测和稳定等技术.
关键词:
激光技术
,
准分子激光
,
热释电
,
能量反馈
,
实时检测
