闫辰奇
,
刘玉岭
,
张金
,
张文霞
,
王辰伟
,
何平
,
潘国峰
电镀与涂饰
研究了一种多元胺醇型非离子表面活性剂对铜化学机械抛光(CMP)液粒径及分散度、抛光速率、抛光后铜膜的碟形坑高度、表面非均匀性和表面粗糙度的影响.抛光液的基本组成和工艺条件为:SiO2(粒径60 ～ 70 nm) 5％(体积分数,下同),多羟多胺螯合剂3％,30％(质量分数)过氧化氢3％,工作压力1 ...
关键词:
铜
,
晶圆
,
化学机械抛光
,
平坦化
,
非离子型表面活性剂
,
机理
刘萌萌
,
潘国峰
,
白卫芹
,
王其民
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.12.003
采用 sol-gel法,以钛酸丁酯、四氯化锡为前驱体制备了不同掺杂量的 SnO2-TiO2纳米粉末,样品经300,500,700和900℃退火后,利用浸渍提拉法,在Al2 O3陶瓷管表面制备了SnO2-TiO2厚膜。通过 XRD和SEM对制备的纳米粉末的物相、形貌进行表征,静态配气法对其气敏性能进行...
关键词:
sol-gel法
,
气敏传感器
,
TiO2厚膜
,
掺杂量
曹冠龙
,
潘国峰
,
何平
,
齐景爱
,
刘伟
,
郑伟艳
功能材料
采用sol-gel法制备ZnO及CeO2掺杂量分别为6％、7％和8％(质量分数)的ZnO粉体.通过XRD、SEM对材料的表面形貌和结构进行表征.研究了掺杂量对粉体制备的影响.采用静态配气法对该粉体制成的气敏元件进行测试,结果表明,在工作温度仅为85℃的条件下,7％(质量分数)CeO2-ZnO气敏传感...
关键词:
CeO2
,
ZnO
,
紫外线
,
丙酮
,
气敏
张培硕
,
潘国峰
,
甄加丽
,
张炳强
人工晶体学报
采用化学共沉淀法制备了Oat％,5 at％,7at％,9at％四种不同Sn掺杂ZnO前驱体.经退火处理得到不同Sn掺杂的ZnO粉末.通过X射线衍射仪和扫描电子显微镜对不同样品的晶体结构和表面形貌进行表征.利用浸渍法制作气敏元件,并测试其气敏特性.结果表明:Sn掺杂ZnO具有六方纤锌矿结构,尺寸分布均...
关键词:
Sn掺杂ZnO
,
光激活
,
响应-恢复时间
,
气敏机理
潘国峰
,
何平
,
张广喜
,
孙以材
,
高金雍
材料导报
根据近年来光催化技术的研究成果,从3个方面综述了纳米TiO2薄膜光触媒薄膜的研究进展:制备工艺、影响TiO2薄膜光催化活性的因素和改善其光催化效率的方法.最后,对目前TiO2光触媒研究中存在的主要问题和发展前景进行了简要评述和展望.
关键词:
TiO2薄膜
,
光催化反应
,
光触媒
