曾冬梅
,
慕银银
,
潘松海
,
刘皖
,
陈飞
人工晶体学报
采用磁控溅射法制备CdZnTe先驱薄膜/金属Al膜的层叠结构,利用铝诱导技术制备CdZnTe薄膜.通过原子力显微镜、X射线衍射、Raman光谱仪和半导体特性分析系统,研究了铝膜溅射功率对铝诱导CdZnTe薄膜结构及性能的影响.结果表明:随着铝膜溅射功率的增加,铝诱导CdZnTe薄膜表面的薄膜结晶质量...
关键词:
CdZnTe薄膜
,
磁控溅射
,
溅射功率
,
铝诱导结晶
潘松海
,
周海
,
曾冬梅
功能材料
选用Cd0.9Zn0.1Te晶体和纯度为99.999％的铝为靶材,结合Al诱导晶化技术,采用磁控溅射法在普通玻璃衬底上制备了CdZnTe薄膜.研究了铝诱导CdZnTe薄膜的结构和形核机理.研究表明,铝诱导的CZT薄膜为闪锌矿结构,且为(111)晶面的取向生长；在薄膜生长过程中,覆盖在CdZnTe表面...
关键词:
CdZnTe薄膜
,
铝诱导
,
磁控溅射
,
形核机理
,
光学性能
