潘永强
,
朱昌
,
弥歉
,
方勇
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2005.02.009
本文通过对端部霍尔离子源特性的研究,采用自行研制的用于离子束辅助沉积的端部霍尔离子源成功镀制了类金刚石膜,并对采用该离子源制备类金刚石膜的工艺进行了研究和分析.实验结果表明,采用端部霍尔离子源镀制类金刚石膜不仅操作简单、可实现大面积沉积,而且类金刚石膜的沉积速率较大,最大可达0.8nm/s,其折射率...
关键词:
端部霍尔离子源
,
类金刚石膜
,
红外光谱
宁晓阳
,
杭凌侠
,
郭峰
,
潘永强
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.06.017
探讨了单源混蒸技术制备SiO2/TiO2变折射率薄膜的可行性,分别蒸发SiO2和TiO2质量比为1:1和1:2的混料,研究分析了薄膜折射率的变化情况,并将其与双源共蒸的方法进行了比较.实验中发现,两种材料蒸发方式的差异是影响SiO2/TiO2变折射率薄膜制备的主要因素,尚未发现混料中SiO2和TiO...
关键词:
SiO2/TiO2薄膜
,
单源混蒸
,
电子束蒸发
,
变折射率
潘永强
,
王飞飞
,
杭凌侠
,
弥谦
表面技术
为了研究等离子体中离子能量的分布规律,基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0,对四栅网离子能量分析仪中网格大小和网格间距对离子能量测量结果的影响进行了理论分析.分析结果表明,当离子能量为800 eV左右时,网格尺寸的大小会影响离子能量的测量精度,网格间距的大小对离子能量的...
关键词:
离子能量
,
栅网式能量分析仪
,
Simion模拟
,
四栅网
