材料期刊网

轴承钢磁控溅射TiN涂层工艺参数对其性能的影响

熊晓晨 , 燕怒 , 韩晓琪

表面技术

目的 研究磁控溅射工艺参数,包括溅射功率、溅射时间,对TiN涂层轴承钢表面性能的影响.方法 采用磁控溅射技术,固定其他工艺参数不变,分别以溅射功率和溅射时间为变量,在轴承钢GCr15表面镀制TiN膜层,并测定硬度,进行摩擦磨损试验.结果 固定溅射功率为200 W,随镀膜时间的延长,硬度和耐磨性呈递减...

关键词: 磁控溅射 , TiN涂层 , 轴承钢 , 硬度 , 耐磨性