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大面积高质量金刚石自支撑膜热导率的影响因素研究

郭世斌 , 吕反修 , 王耀华 , 牛得草 , 唐伟忠 , 佟玉梅

功能材料

通过Raman、XRD、SEM分析方法分别对大面积高质量金刚石自支撑膜的质量、晶体结构、晶粒尺寸进行研究,分析它们对金刚石自支撑膜热导率的影响.研究结果表明,金刚石自支撑膜的质量对热导率的影响较大,质量越好,热导率越接近于天然金刚石的热导率;并且金刚石自支撑膜中晶体[220]取向度越高,热导率越高....

关键词: 金刚石自支撑膜 , 热导率 , 晶体结构 , 晶粒尺寸