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直接敷铜工艺制备Cu/AlN材料的界面结构及结合性能

谢建军 , 王宇 , 汪暾 , 王亚黎 , 丁毛毛 , 李德善 , 翟甜蕾 , 林德宝 , 章蕾 , 吴志豪 , 施鹰

机械工程材料 doi:10.11973/jxgccl201701013

通过直接敷铜(DBC)工艺,在AlN陶瓷基板表面于1000~1060℃的敷接温度下制备Cu/AlN材料,利用机械剥离机、场发射扫描电子显微镜和X射线衍射仪分析了Cu/AlN的界面结合强度、界面微观形貌和物相组成.结果表明:铜箔和AlN陶瓷基板间的结合强度超过了8.00 N?mm-1,铜箔和AlN陶瓷...

关键词: 表面金属化 , 直接敷铜工艺 , AlN陶瓷 , 界面结合强度

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