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单靶磁控溅射制备铜铟硒和铜铟锌硒薄膜及其结构、光学性质研究

王伟君 , 何俊 , 张克智 , 陶加华 , 孙琳 , 陈晔 , 杨平雄 , 褚君浩

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140309

采用单靶磁控溅射法制备了铜铟硒(CIS)和铜铟锌硒(CIZS)薄膜.XRD表征发现CIZS-300出现了与其它薄膜不同的择优取向,分析认为贫铜的状态和适宜温度可能促使薄膜择优取向从(112)向(220)转化;拉曼光谱在171 cm-1处出现的较强峰,和206 cm-1处出现的较弱峰,分别为A1和B2...

关键词: 磁控溅射 , 铜铟锌硒 , 锌掺杂

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