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Ar~(+)混合Fe-Dy多层膜的结构及性能

李胜利 , 王佩璇 , 阎凤章 , 马如璋

金属学报

用真空双源蒸镀法在Ｓｉ单晶衬底上制备了Ｆｅ，Ｄｙ原子数比为３：２的Ｆｅ─Ｄｙ成分调制多层膜．用ＡＥＳ、ＲＢＳ、Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）以及磁性测量分析了Ａｒ~（＋）混合前后Ｆｅ─Ｄｙ多层膜的相交．Ａｒ~（＋）离子注入能量１１０ｋｅＶ，剂量５×１０~（１５）─１×１０~（１７）／ｃｍ~２．结果表明，注入剂...

关键词: Ｆｅ─Ｄｙ多层膜 , amorpohization , magnetic property. , null

Mo/SiO_2软X射线多层膜反射镜的界面分析

王凤平 , 王佩璇 , 方正知 , 崔明启 , 姜晓明 , 马宏骥

金属学报

用X射线衍射的动力学理论对磁控溅射法制备的Mo／SiO2多层膜低角X射线衍射谱进行拟合，定量分析了膜层的周期结构和界面粗糙度．同时，用Auger电子能谱证实了多层膜成分的周期性以及比较明晰的层界面随样品厚度的增加，界面粗糙度增加．

关键词: Mo／SiO_2多层膜 , magnetron sputtering , interfacial roughness , low angle X-ray diffraction , AES

注入氦不锈钢中氦泡热形核及长大研究

张镭 , 王佩璇 , 陶蓉 , 马如璋 , 张国光

金属学报

本文利用透射电镜观察了HR-2及SS321不锈钢注入He~+并在T<1023K不同温度退火后的He泡结构,发现T=0.45T_m是一个转变点,当0.3T_m0.45T_m时,He泡主要通过迁移和合并而长大,长大激活能的实验值分别为0.41e...

关键词: 不锈钢 , ion implantation , He bubble

不锈钢表面沉积SiC作为氢渗透阻挡层的研究

王佩璇 , 王宇 , 史宝贵

金属学报

在３１６Ｌ不锈钢片表面上用离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ）和溅射沉积加上离子注入方法制备Ｓｉ－Ｃ薄膜, 测量氚通过钢片的渗透率, 并用ＸＰＳ, ＡＥＳ, ＸＲＤ及ＴＥＭ等分析薄膜的成分和结构, 结果表明, 改性膜使不锈钢的氚渗透降低近５个数量级, 随着制备条件的汪同, 膜中的Ｃ／Ｓｉ原子比不同, 用双靶（...

关键词: 碳化硅 , null , null , null , null , null

中子辐照GaAs缺陷的退火行为研究

刘键 , 王佩璇 , 张灶利

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1999.05.004

采用霍尔测量、沟道卢瑟福背散射 (沟道RBS) 以及低温光荧光方法对中子辐照GaAs缺陷的快速退火行为进行了研究. 嬗变杂质锗未能全部激活的原因之一是部分锗原子占据砷位形成受主. 在快速退火过程中可形成反位缺陷GaAs(Ev+200 meV) 以及复合缺陷IGa-VAs.

关键词: 中子辐照 , GaAs , 缺陷

离子束混合条件下Fe-Dy多层膜的非晶化

李胜利 , 王佩璇 , 马如璋

中国稀土学报

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