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于威 , 王保柱 , 孙运涛 , 韩理 , 傅广生
人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.03.019
采用螺旋波等离子体化学气相沉积 (HWP-CVD)技术在Si(100)和石英衬底上合成了具有纳米结构的碳化硅薄膜.通过X射线衍射(XRD)、傅立叶红外透射(FTIR)和原子力显微镜(AFM)等技术对所制备薄膜的结构、组分和形貌进行了分析,利用光致发光技术研究了样品的发光特性.分析表明,在700℃的衬...
关键词: 纳米碳化硅 , 螺旋波等离子体 , 化学气相沉积
于威 , 朱海丰 , 王保柱 , 韩理 , 傅广生
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.008
采用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWPCVD)技术,以SiH4作为源反应气体在Si(100)和玻璃衬底上制备了纳米Si薄膜.通过X射线衍射(XRD)、Raman光谱、原子力显微镜(AFM)对所制备的材料结构和形貌等特性进行表征,分析了纳米Si薄膜结构随衬底温度变化的规律.实验结果表明,在较低的衬底温...
关键词: 螺旋波等离子体化学气相沉积 , 纳米硅薄膜 , 结构特性
王保柱 , 王晓亮
无机材料学报 doi:10.3724/sp.j.1077.2009.00559
利用射频等离子体辅助分子束外延（RF-MBE）技术在蓝宝石衬底上外延了铝铟镓氮(AlInGaN)四元合金，通过改变Al源的束流生长了不同组分的AlInGaN四元合金，材料生长过程中采用反射式高能电子衍射（RHEED）进行了在位检测. 通过扫描电镜（SEM）、卢瑟福背散射（RBS）、X射线衍射（XRD...
关键词: 铝铟镓氮 , RF-MBE , structural properties , optical properties
无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00559
利用射频等离子体辅助分子束外延(RF-MBE)技术在蓝宝石衬底上外延了铝铟镓氮(AlInGaN)四元合金,通过改变Al源的束流生长了不同组分的AlInGaN四元合金,材料生长过程中采用反射式高能电子衍射(RHEED)进行了在位检测. 通过扫描电镜(SEM)、卢瑟福背散射(RBS)、X射线衍射(XRD...
关键词: 铝铟镓氮 , 分子束外延 , 结构特性 , 光学特性
王保柱 , 颜翠英 , 王晓亮
稀有金属材料与工程
采用射频等离子体辅助分子束外延(RF-MBE)技术在蓝宝石衬底上,外延生长了发光波长位于407 nm的InGaN量子点结构,研究了InN成核层技术对其结构和光学特性的影响.材料生长过程中采用反射式高能电子衍射(RHEED)进行了在位检测,通过原子力显微镜(AFM),光致发光(PL)等测试手段表征了I...
关键词: 铟镓氮 , 量子点 , 分子束外延
