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磷化铟单晶生长中的传热和流动分析

李明伟 , 陈淑仙 , 王凭青

工程热物理学报

用有限元法对轴向磁场存在下3英寸磷化铟单晶液封提拉法生长中的传热和流动进行了求解.结果表明:液封改变了晶体表面被封部分的换热,进而影响生长界面的形状.增加磁场强度能有效减弱熔体和封层内的流动,并使生长界面形状发生变化.增加提拉速度,生长界面形状由凸变凹.随晶体转速的增加,多涡胞流动出现.

关键词: 磷化铟 , 液封提拉法 , 磁场 , 传热和流动

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