陈芳
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魏志鹏
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刘国军
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唐吉龙
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房丹
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方铉
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高娴
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赵海峰
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王双鹏
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.23.006
半导体材料及其光电器件如激光器、探测器以及高速微波器件有着广阔的应用前景.半导体材料的结构和缺陷特性对器件性能起着至关重要的影响,然而对材料进行纳米尺度下的检测、表征无论是理论上还是技术和设备上都需要深入研究和发展,因此扫描近场光学显微技术在半导体材料表征领域有着无可替代的地位.扫描近场光学显微技术...
关键词:
扫描近场光学显微技术
,
半导体材料
,
超高空间高分辨率
