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磁控溅射TiAlSiN硬质膜及其高温抗氧化性能

黄曼 , 张济 , 王启钧 , 赵凯 , 张罡

材料保护

目前,对TiAlSiN薄膜在800℃以上的抗高温氧化性研究较少.通过磁控溅射优化工艺在W18Cr4V高速钢基体上制备不同Si含量的TiAlSiN硬质薄膜,针对硬度最高的典型薄膜试样[Si含量为16.49％(原子分数)],分别在800℃和1 000℃下进行保温1h的大气热处理.利用SEM、EDS、XR...

关键词: 磁控溅射 , TiAlSiN , W18Cr4V高速钢 , 大气热处理 , 抗高温氧化性