白海力
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姜恩永
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吴萍
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王怡
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王存达
金属学报
用Ｒａｍａｎ散射研究了对向靶反应溅射制备的ＣＮ薄膜的键结构, 研究表明, 在Ｃ膜中掺杂Ｎ可以抑制ＣＮ膜中ｓｐ＾３键的形成, 提高ｓｐ＾２键的相对含量, 改善Ｃ膜的结构热稳定性.
关键词:
Raman散射
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null
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null
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null
姜恩永
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白海力
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王存达
金属学报
用Ｘ射线衍射、透射电镜、Ｒａｍａｎ光谱、Ｘ射线光电子谱等测量方法研究了用对向靶溅射法制备的Ｃｏ／Ｃ多层膜的结构热稳定性．退火Ｃｏ／Ｃ多层膜的结构变化包括周期膨胀、非晶Ｃｏ层结晶、掠入射反射率变化以及化合物的形成．４００℃退火，周期膨胀主要是由于非晶碳层的石墨化．Ｃｏ／Ｃ系统的相分离造成掠入射反射率增强，可解释为Ｃｏ／Ｃ系统的正的混合焓．５００℃退火，Ｃｏ层的结晶和集聚导致了周期的异常膨胀和反射率的降低．此时界面处形成了少量的碳化物．
关键词:
Ｃｏ／Ｃ多层膜
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annealing
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period expansion.
