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溶胶-凝胶法制备钛酸锶铅薄膜和多层膜及其介电性质

王季魁 , 沈明荣 , 方亮 , 甘肇强

功能材料

采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了多种不同组分的(Pb1-xSrx)TiO3(PST)(x=0.45、0.50、0.55、0.60、0.65)均匀薄膜和多层膜,并研究了它们的介电性质.发现均匀薄膜在x=0.55(PST55)时有最大的介电常数,10kHz下为879,损耗为0.0...

关键词: 溶胶-凝胶法 , 钛酸锶铅 , 多层膜 , 介电性质