王宽
,
刘敬成
,
刘仁
,
穆启道
,
郑祥飞
,
纪昌炜
,
刘晓亚
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.02.123
随着微电子工业的蓬勃发展,光刻技术向着更高分辨率的方向迈进,运用底部抗反射涂层有效消除光刻技术中的驻波效应、凹缺效应,提高关键尺寸均一性和图案分辨率,引起了广大研究者的关注.本文简要介绍了光刻胶和光刻技术,底部抗反射涂层的分类、基本原理、刻蚀工艺以及其发展状况.重点对底部抗反射涂层的最新研究进展进行...
关键词:
光刻胶
,
光刻技术
,
底部抗反射涂层
王宽
,
朱海平
,
宋振莉
,
陶勃然
,
王莹
,
何维均
,
栾佰峰
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.04.005
钛及钛合金具有良好的耐腐蚀性,被广泛应用于各种化学反应容器制造、热交换器材料等防腐蚀领域,但其应用范围因成本过高而受到限制.钛钢复合板同时兼具钛的耐蚀性和钢的强韧性,又具有良好的性价比,拥有广泛的工程应用前景,成为近年来的研究热点.对国内外近十几年来关于钛钢复合板的研究情况进行综合评述,概括了钛钢复...
关键词:
钛钢复合板
,
界面特征
,
结合机理
