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Mo靶材组织对溅射薄膜形貌及性能的影响

刘仁智 , 孙院军 , 王快社 , 安耿 , 李晶 , 王引婷

稀有金属材料与工程

将4种组织差异较大的钼靶材在同一溅射设备,同一溅射工艺下进行磁控溅射试验,对溅射后的靶材表面及薄膜表面、截面形貌及方阻进行检测,讨论并分析靶材微观组织对溅射过程及薄膜形貌、晶向、导电性能的影响.结果表明,不同组织靶材溅射的薄膜表面及截面形貌差异较小；靶材80％的晶粒尺寸小于50 μm时,溅射薄膜沉积...

关键词: 钼靶材 , 溅射薄膜 , 形貌 , 方阻