谷文翠
,
李寿德
,
王怀勇
,
陈春立
,
李朋
,
黄峰
航空材料学报
doi:10.11868/j.issn.1005-5053.2014.5.006
为了提高TiB2涂层的致密性,采用磁控溅射技术,通过改变基片偏压,获得了floating,-30V,-90V三种偏压状态的涂层.利用XRD,SEM、纳米压痕仪、Vickers显微硬度仪和摩擦磨损试验机对涂层的结构和性能进行了分析.结果表明:所有制备涂层只存在六方结构TiB2相,偏压为floating...
关键词:
TiB2涂层
,
磁控溅射
,
偏压
,
摩擦磨损
王怀勇
,
李胜祗
,
郭军
,
王博
,
朱萍
,
黄峰
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2014.12.014
采用磁控溅射方法分别掺杂含量约为10％(原子分数)的Cu,Ag,Ni金属,制备出三种TiB2基涂层.利用XRD,SEM分析涂层结构,并通过塑性指数δH、划痕和压痕三种手段对涂层韧性进行表征.结果表明:掺杂金属在涂层中的存在形式不同,导致对涂层晶粒和生长结构的影响不同,其中Ag以晶体形式存在,未发现C...
关键词:
磁控溅射
,
TiB2-Ni
,
TiB2-Cu
,
TiB2-Ag
,
划痕
,
韧性
