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柱形单极等离子体天线模型的多物理场研究

任静 , 龚学余 , 王恩峰 , 任玉虎

低温物理学报

基于柱形单极表面波的等离子体天线结构的多物理场情况考虑了天线内部粒子的反应和运动等因素,通过ComsolMultiphysics软件,模拟感应耦合场、粒子运动场等,得到了天线内部的粒子分布、电子能量分布等以及等离子体天线的相关参数,同时分析各物理场之间的关系对等离子体天线的影响,发现感应耦合等离子体场在天线工作中起主要作用,有助于等离子体天线的参数重构控制.

关键词: 等离子体天线 , 柱形单极 , 多物理场