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氢稀释对纳米晶硅薄膜微结构的影响

于威 , 卢海江 , 路万兵 , 孟令海 , 王新占 , 韩理 , 傅广生

功能材料

采用电感耦合等离子体化学气相沉积技术制备了氮化纳米硅薄膜,利用Raman散射、x射线衍射、红外吸收等技术对不同氮稀释条件下薄膜的微观结构和键合特性变化进行了研究.结果表明,较高的氢稀释比导致薄膜从非晶硅到纳米晶硅的结构转化,随着氮稀释比的增加,所沉积薄膜的晶化度及纳米晶硅的晶粒尺寸单调增加,纳米硅颗...

关键词: 纳米晶硅薄膜 , 电感耦合等离子体 , 晶态比 , 氢稀释比