童杨
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王昆仑
,
刘媛媛
,
李延辉
,
宋淑梅
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杨田林
人工晶体学报
在室温下采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了200 nm厚的铟锡锌氧化物(ITZO)薄膜,研究了不同功率下薄膜结构、形貌、光学和电学性能的变化规律.结果表明,ITZO薄膜为非晶薄膜并且有着良好的光电特性,其平均光学透过率超过了84％,载流子霍尔迁移率高达24 em2·V-1·s-1.随着射频功率从...
关键词:
铟锡锌氧化物薄膜
,
光学带隙
,
光电特性
,
射频功率
李方正
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王昆仑
,
赵继凤
,
郑小燕
,
辛艳青
,
杨田林
中国表面工程
doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20160923001
为研究过渡层材料及结构对TiCN涂层性能的影响,设计3种Cr基及其化合物过渡层,利用多弧离子镀技术制备TiCN涂层.膜系分别为Cr/TiCN、Cr/CrN/TiCN和Cr/CrN/CrCN/TiCN.利用SEM、XRD、纳米压痕仪、划痕仪、摩擦磨损试验机和球磨仪对涂层的微观结构和性能进行表征.结果表...
关键词:
过渡层
,
TiCN涂层
,
硬度
,
附着力
,
耐磨性
