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液相沉积法制备氧化物薄膜

本文介绍了一种新的湿化学成膜法一液相沉积法,对液相沉积法制备氧化物薄膜的原理、工艺流程及成膜的种类和性能进行了详细阐述,并概述了其发展和应用前景.

液相沉积法制备TiO2薄膜及其亲水性能研究

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.004

本文采用液相沉积法(LPD)制备了透明TiO2薄膜,并研究了其紫外-可见吸收性能和紫外光照射下薄膜亲水性能的变化.发现热处理前后的薄膜具有相似的紫外吸收性能,在紫外光照射下亲水性能都有提高.热处理后的薄膜在紫外光照射下可与水完全润湿.用X光电子能谱对薄膜表面的分析表明,热处理前后的薄膜亲水性能的差异...

关键词: 液相沉积 , TiO2 , 薄膜 , 亲水性

TiO₂薄膜的液相沉积法制备及其性能表征

王晓萍 , 于云 , 高濂 , 胡行方

无机材料学报

采用液相沉积法（LPD）制备了透明TiO2薄膜，并研究了所制薄膜的形貌、结构和在紫外光照射下亲水性能的变化．结果表明，用此法制得的TiO₂薄膜较为均匀致密，热处理前后的薄膜具有相似的亲水性能，在紫外光照射下亲水性能都有提高．热处理后的薄膜在紫外光照射一定时间后可与水完全润湿．

关键词: 液相沉积 , TiO₂ , thin films , hydrophilicity

TiO2薄膜的液相沉积法制备及其性能表征

王晓萍 , 于云 , 高濂 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.03.036

采用液相沉积法(LPD)制备了透明TiO2薄膜,并研究了所制薄膜的形貌、结构和在紫外光照射下亲水性能的变化.结果表明, 用此法制得的TiO2薄膜较为均匀致密,热处理前后的薄膜具有相似的亲水性能,在紫外光照射下亲水性能都有提高.热处理后的薄膜在紫外光照射一定时间后可与水完全润湿.

关键词: 液相沉积 , TiO2 , 薄膜 , 亲水性

纳米ZrO2缓冲膜的性能研究

于云 , 王晓萍 , 胡行方

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.009

用溶胶-凝胶技术,在金膜与基体不锈钢箔之间制备了一层ZrO2缓冲膜.在前期研究工作的基础上,通过TEM、AES、SEM等测试手段对ZrO2缓冲膜的结构及性能进行了表征.结果表明,溶胶-凝胶法制备的ZrO2缓冲膜的粒度尺寸为纳米级;850℃热处理后,没有涂覆缓冲膜的蒸金不锈钢箔与金膜之间存在着严重的互...

关键词: 纳米ZrO2 , 缓冲膜 , 溶胶-凝胶 , 高温互扩散反应

溶胶-凝胶法制备ZrO₂缓冲膜的研究

于云 , 王晓萍 , 胡行方

无机材料学报

本文用溶胶-凝胶技术，以无机盐氧氯化锆（ZrOCl₂·8H₂O）为前驱体，在不锈钢表面上制备了含SiO₂相的ZrO₂缓冲膜，并用真空蒸镀法在其上沉积一层厚度为150nm的金膜．通过XRD、FTIR、SEM及AES...

关键词: ZrO₂ , sol-gel , buffer layers , interdiffusion , null

溶胶-凝胶法制备ZrO2缓冲膜的研究

于云 , 王晓萍 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.03.035

本文用溶胶-凝胶技术,以无机盐氧氯化锆(ZrOCl2.8H2O)为前驱体,在不锈钢表面上制备了含SiO2相的ZrO2缓冲膜,并用真空蒸镀法在其上沉积一层厚度为150nm的金膜.通过XRD、FTIR、SEM及AES等测试手段对ZrO2缓冲膜的性能及其热处理过程中的物理化学变化进行了表征.结果表明,不锈...

关键词: ZrO2 , 溶胶-凝胶 , 缓冲膜 , 热发射率 , 互扩散

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液相沉积法制备氧化物薄膜

液相沉积法制备TiO2薄膜及其亲水性能研究

TiO₂薄膜的液相沉积法制备及其性能表征

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溶胶-凝胶法制备ZrO₂缓冲膜的研究

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