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基片温度对Co掺杂ZnO薄膜室温铁磁性的影响

王朱良 , 李小丽 , 江凤仙 , 田宝强 , 吕宝华 , 许小红

稀有金属材料与工程

采用磁控共溅射法在Al2O3(0001)基片上沉积了Zn1-xCoxO(x=0.08～0.3%)薄膜,研究了基片温度对Co掺杂ZnO薄膜结构和磁性的影响.结果表明:Al2O3(001)基片很好地诱导了ZnCoO薄膜(002)取向生长,并且所有的薄膜均显示室温铁磁性.较低的基片温度不仅能有效抑制薄膜中...

关键词: Co掺杂的ZnO薄膜 , 磁控共溅射 , 基片温度 , 铁磁性