王怀义
,
刁训刚
,
王武育
,
杨海刚
,
丁破
,
郝维昌
,
王天民
功能材料
利用自行设计的基片液氮低温冷却装置,用金属Ni靶在Ar+O2气氛反应条件下,利用磁控溅射制备纳米微晶结构NiOx膜的方法,薄膜的XRD谱和扫描电子显微图像(SEM)表明,该方法实现了在溅射参数完全相同的条件,纳米NiOx薄膜结构连续可控、可调节.
关键词:
磁控溅射
,
纳米微晶
,
NiOx薄膜
王武育
,
王溪晶
,
周荣会
,
张宇
,
刘晓东
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.z1.012
根据镁法炼钛还原过程的理论与实践,选取镁利用率(M%)与还原期三个主控参数(四氯化钛加料速度W、还原反应温度T及反应器内压强p)的影响关系为模型,对联合法制钛小型试验中的试验数据,用数理方法进行了线性相关和回归分析,建立了近似反映镁利用率与还原参数的数学模型.
关键词:
钛
,
镁利用率
,
还原主控条件
,
线性回归
王怀义
,
刁训刚
,
王武育
,
郝维昌
,
王聪
,
王天民
功能材料
介绍了利用磁控溅射和一种液氮冷却装置,制备非晶态WO3薄膜、非晶态LiNbO3薄膜和纳米微晶态NiOx薄膜的有效方法.进而,使用这种液氮冷却装置,采用全程基片冷却方法,制备了单基片无机全固态智能窗--G│ITO│NiOx│LiNbO3│WO3│ITO器件.实验结果表明,在400～800nm的可见光范围内,该器件经过1000次循环后,它的漂白态透射率为63.0%,而着色态透射率为10.6%,这一初步工作表明,基片冷却方法应该是制备有优异性能的无机全固态电致变色智能窗的有效方法.
关键词:
磁控溅射
,
无机全固态
,
电致变色
,
智能窗
王怀义
,
刁训刚
,
王武育
,
郝维昌
,
王聪
,
王天民
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2009.04.017
使用一种配套于磁控溅射设备的基片液氮冷却装置制备了小颗粒度纳米微晶NiOx电致变色薄膜.当溅射参数完全相同时,借助于对基片的冷却可有效控制并降低NiOx薄膜的晶粒尺度.冷却基片所制备的NiOx薄膜的电致变色性能明显优于室温时制备的薄膜,且该薄膜的O/Ni比率也明显高于室温时制备的NiOx薄膜的O/Ni比率.
关键词:
无机非金属材料
,
磁控溅射
,
纳米微晶态
,
电致变色
,
NiOx薄膜
