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溶胶-凝胶提拉法制备ZnO薄膜及其性能研究

宋永梁 , 季振国 , 王泉香 , 向因 , 叶志镇

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2004.01.003

采用溶胶-凝胶提拉法在石英玻璃衬底上生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴择优取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.28eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30eV基本相同.用荧光光谱分析了经过400～600℃热处理获得的ZnO薄膜,结果表明ZnO薄膜在室温下可获得较强的紫外带边发射.适当选择热处理温度可以获得无可见波段发射的ZnO薄膜.

关键词: ZnO薄膜 , 光致发光 , 溶胶-凝胶法 , 提拉法