程卫东
,
赵婷婷
,
蔡善儒
,
王洪森
耐火材料
doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2012.02.022
为节能减排,对传统的双盘摩擦压力机进行技术改造,研制了SSP系列节能数控螺旋压力机.该压力机选用开关磁阻电机作为驱动动力,采用可编程控制器( PLC)作为主控机,应用于耐火砖的压制,工艺可控,操作安全,数控系统可靠性高,维护方便,显著提高了耐火砖产品质量的稳定性,节能效果显著.
关键词:
数控
,
压力机
,
节能
,
开关磁阻电机
王洪森
,
赵玉辉
表面技术
目的 研究ZnO∶Si薄膜厚度对其生长速率、结晶度、光透率和电阻率的影响.方法 用直流磁控溅射系统在玻璃基片上沉积不同的时间,获得5个厚度不同的ZnO∶Si薄膜样品,对比研究了其薄膜生长取向和结构特性、微观形貌、电学参数及透过率曲线.结果 5个ZnO∶Si薄膜样品都为多晶膜,具有单一的(002)衍射峰,沿垂直于基片的c轴方向择优生长.当薄膜厚度从207.6 nm增加到436.1 nm时,薄膜的晶粒尺寸增大,晶化程度提高,电阻率变小;膜厚增至497.8 nm时,薄膜的晶化程度反而降低,电阻率增加.在可见光范围内,5个薄膜样品的平均透过率都高于91.7％.结论 膜厚对ZnO∶Si薄膜的电学性能有较大影响,对光学性能的影响则较小.
关键词:
透明导电薄膜
,
ZnO∶Si
,
光电特性
,
薄膜厚度
