陈静
,
王湘
,
董业民
,
郑志宏
,
陈猛
,
王曦
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.002
采用无质量分析器的离子注入机,以低能量低剂量注水的方式代替常规SIMOX注氧制备SOI材料.测试结果表明,此技术成功地制备了界面陡峭、平整,表层硅单晶质量好的SOI结构材料.在剂量一定的条件下,研究不同注入能量对SOI结构形成的影响,使用剖面透射电镜技术(XTEM)和二次离子质谱技术(SIMS)等测试方法对注入样品和退火后样品进行分析.结果表明,表层硅厚度随注入能量增大不断增大;埋层二氧化硅厚度相对独立,仅在超低能(50keV)低剂量情况下厚度出现明显降低;埋层质量(包括界面平整度、硅岛密度等)与注入能量变化相关.
关键词:
低剂量注水
,
注入能量
,
SOI结构
王湘
,
叶霖
,
张爱英
,
冯增国
应用化学
doi:10.3724/SP.J.1095.2010.90318
由甲基丙烯酸正丁酯(BMA)与2-(2'-碘苯甲酰)-O-甲基丙烯酸乙酯(2-IEMA)自由基共聚制备了一种X光显影材料.~1H NMR分析表明,该共聚物中2种结构单元之比与投料比吻合.GPC测得该共聚物的分子量随2-IEMA含量增加而降低.DSC分析表明,共聚物的玻璃化转变温度在22.3~28.0 ℃之间,与Fox方程计算值比较接近,而且随2-IEMA含量的增加而升高.TGA测得共聚物的分解温度为250 ℃,具有很好的热稳定性.力学性能测试结果表明,共聚物的拉伸强度随BMA含量的增加而增加,最大拉伸强度可达到7.46 MPa.X光显影性测试表明,该共聚物具有良好的显影性,显影效果随2-IEMA含量增加而增强.
关键词:
X光显影聚合物
,
自由基聚合
,
甲基丙烯酸正丁酯