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金刚石膜紫外光电导探测器及性能

王玉光 , 费允杰 , 冯克安

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.03.029

用化学气相沉积法生长金刚石膜,在此膜上制作紫外光电探测器,并作了性能测试.该器件是叉指式电极结构,可以减小电极间隙,减少光激发载流子的损失,提高器件的响应灵敏度.表面处理可除去金刚石膜的低电阻表面层,提高器件对紫外光的探测性能.测试表明,用金刚石制作的器件对波长小于225nm的紫外光的响应比可见光高4个量级.

关键词: 紫外光电探测器 , 金刚石薄膜