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检索条件:作者=王玉强  

  • 论文(8)

沉积温度对磁控溅射生长SrRuO_3薄膜结构和性能的影响

王宽冒 , 张沧生 , 李曼 , 周阳 , 王玉强 , 王侠 , 彭英才 , 刘保亭

人工晶体学报

采用射频磁控溅射法在(001)SrTiO_3基片上制备了SrRuO_3薄膜,采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、四探针测试仪等分析方法系统研究了沉积温度对SrRuO_3薄膜结构、表面形貌及输运性质的影响.实验结果表明:当生长温度低于550 ℃时,SrRuO_3薄膜为多晶结构;当温度在5...

关键词: SrRuO_3 , 磁控溅射 , 外延薄膜

退火工艺对含Ti-Al阻挡层的硅基Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3铁电电容器结构和性能影响的研究

郭颖楠 , 刘保亭 , 赵敬伟 , 王宽冒 , 王玉强 , 孙杰 , 陈剑辉

人工晶体学报

应用非晶的Ti-Al薄膜为导电阻挡层,采用射频磁控溅射法和溶胶-凝胶法在Si衬底上制备了La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3/Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3/Ti-Al/Si (LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si)异质结,...

关键词: 退火工艺 , PZT , 磁控溅射法 , 溶胶-凝胶法

周期性序列脉冲放电火花点火特性研究

余永刚 , 王玉强 , 周彦煌 , 陆欣

工程热物理学报

为了探索液体火箭发动机的新型点火方法,设计了一种周期性序列脉冲放电火花的模拟点火装置,该装置采用电机驱动电极转动,在圆周上形成放电火花的时空分布.采用高速录像系统,开展了HAN基液体推进剂LP1846液雾在不同条件下电点火特性的实验研究,结果表明,电极转速在3-5 r/s时,电火花在圆周放电空间内的...

关键词: 液体推进剂 , 喷雾 , 电点火 , 瞬态测量

硅烷偶联剂对纯钛表面改性的研究

宁成云 , 刘绪建 , 郑华德 , 谭帼馨 , 马强 , 王玉强

稀有金属材料与工程

采用浸渍法将NaOH碱处理后的钛片浸入硅烷溶液中进行表面改性,可制备致密硅烷膜.利用SEM、FTIR、EDS、表面接触角分析仪等研究硅烷膜的表面形貌与结构特征.结果表明:不同浓度的硅烷溶液对硅烷膜的表面形貌、表面接触角以及表面基团的组成有较大影响;将钛片浸入浓度33%的硅烷水解溶液中,所制备的硅烷膜...

关键词: 硅烷偶联剂KH-550 , 钛片 , 表面改性 , 硅烷膜

纯钛表面二氧化钛纳米管阵列结构特征的研究

宁成云 , 李丹 , 郑华德 , 谭帼馨 , 王玉强 , 马强

稀有金属材料与工程

采用阳极氧化技术在纯Ti表面制备出有序的TiO2纳米管阵列,并通过SEM,XRD,XPS对TiO2纳米管阵列进行表征.结果表明,阳极氧化时间对纳米管的形成有较大的影响.在外加电压为20 V,阳极氧化时间为20 min时,可制备出长度约480 nm、内径约89.90 nm、壁厚约7.4 nm的TiO2...

关键词: 二氧化钛纳米管阵列 , 阳极氧化 , 锐钛矿 , 金红石

快速退火对 Ni-Al-O 栅介质结构和介电性能的影响

李曼 , 刘保亭 , 王玉强 , 王宽冒

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00257

采用反应脉冲激光沉积方法(PLD)分别在n-Si(100)和Pt/Ti/SiO2/Si(111)衬底上生长了Ni-Al-O栅介质薄膜,将样品在不同温度下进行快速退火处理. 通过XRD和AFM对其结构和表面形貌进行了表征,利用LCR表和Keithley表对其介电性能和漏电流进行了...

关键词: 高k栅介质 , Ni-Al-O thin film , reactive pulsed laser deposition

快速退火对Ni-Al-O栅介质结构和介电性能的影响

李曼 , 刘保亭 , 王玉强 , 王宽冒

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00257

采用反应脉冲激光沉积方法(PLD)分别在n-Si(100)和Pt/Ti/SiO2/Si(111)衬底上生长了Ni-Al-O栅介质薄膜,将样品在不同温度下进行快速退火处理.通过XRD和AFM对其结构和表面形貌进行了表征,利用LCR表和Keithley表对其介电性能和漏电流进行了研究.结果表明,样品经过...

关键词: 高k栅介质 , Ni-Al-O薄膜 , 反应脉冲激光沉积