材料期刊网

薄膜厚度对Au/ZnO/n+-Si薄膜压敏电阻器阈值电压的影响

季振国 , 王玮丽 , 毛启楠 , 席俊华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.02.011

本文采用直流磁控溅射法和多次沉积与掩膜技术,在n+Si(100)衬底上制备了一系列厚度不同的ZnO薄膜,表面镀Au的探针与ZnO/n+-Si构成了一系列ZnO层厚不同的Au/ZnO/n+-Si薄膜压敏电阻器.利用X射线衍射确定沉积的ZnO薄膜为高度c轴(0002)取向的晶体薄膜,利用紫外-可见透射光...

关键词: ZnO薄膜 , 压敏电阻器 , 阈值电压 , 薄膜厚度