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王琛英 , 杨树明 , 李常胜 , 景蔚萱 , 林启敬 , 蒋庄德 , 张易军
稀有金属材料与工程
研究利用原子层沉积获得的小于10 nm Al2O3薄膜表面形貌特点.采用该技术获得4和8 nm的Al2O3薄膜,利用原子力扫描电镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对薄膜表面形貌进行测量,通过最小二乘法和多重分形研究薄膜表面形貌,分析得出利用原子层沉积技术加工超薄Al2O3薄膜,其形貌与成膜原理有关,与厚度无关.
关键词: 原子层淀积 , Al2O3 , 多重分形
