朱宝辉
,
韩俊钢
,
王宏亮
,
李积贤
,
冯德全
,
王秋迎
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2012.06.004
通过力学性能测试和显微组织观察研究了Nb40Ti-5.5Al合金不同热处理状态组织和性能之间的关系.结果表明:对Nb-40Ti-5.5Al合金分别进行固溶处理和退火热处理,其组织和性能差异不明显;该合金具有很好的冷变形能力,可以经过70%的冷变形,延伸率仍然保持在10%左右.对冷变形合金经过固溶处理后,软化效果非常明显;对固溶态直接进行时效,短时强化效果几乎没有,但经过10 h的时效后强化较为显著;经过固溶处理+70%冷变形+时效处理,可以获得良好的强化效果,抗拉强度≥1200 MPa,屈服强度≥1000 MPa,延伸率≥15%,具有良好的强塑性,说明该材料具有很好的冷形变热处理强化效应.对经过冷形变热处理的材料在60℃下进行加载、卸载曲线测试,拟合的曲线线性相关度高达0.9998,可以证明该材料确实是一种线性重合性极佳的恒弹性材料.
关键词:
Nb-40Ti-5.5Al合金
,
热处理
,
显微组织
,
力学性能
,
恒弹性材料
潘伦桃
,
李彬
,
郑爱国
,
吕建波
,
李海军
,
王秋迎
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.01.005
介绍了在硅基片上用钽溅射靶溅射沉积和用钽的化合物气相化学沉积钽基膜(金属钽、碳化钽、氮化钽、硅化钽、氮化硅化钽、氮化碳化钽)作为集成电路中防止铜向基片硅中扩散的阻挡层, 介绍了钽溅射靶的技术要求, 加工方法以及化学气相沉积钽基薄膜的方法.
关键词:
钽
,
阻挡层
,
钽溅射靶
,
化学气相沉积