刘梦伟
,
佟建华
,
王兢
,
董维杰
,
崔天宏
,
王立鼎
功能材料
采用改进的溶胶-凝胶技术,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备了不同厚度的Pb(Zr0.50Ti0.50)O3薄膜,在600℃的退火条件下获得了晶格完善的钙钛矿结构.通过前驱体溶液的差热(DTA)、热重(TGA)实验以及PZT膜加热到不同温度的物相转化分析了PZT薄膜的相结构演...
关键词:
溶胶-凝胶
,
PZT薄膜
,
厚度
,
介电性能
王晓东
,
刘冲
,
王立鼎
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.01.001
微型夹钳技术是微机电系统研究的重要内容,应用于微装配等领域,在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用.本文选取微型夹钳技术最新研究中有代表性的成果进行了回顾,对微型夹钳的结构材料、制作工艺和工作原理等进行了分析,介绍了微型夹钳的最新研究进展,概括了研究特点及发展趋势.
关键词:
微型夹钳
,
微装配
,
微机电系统
,
微系统技术