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检索条件:作者=王英民  

  • 论文(10)

不同栅结构的部分耗尽NMOSFET/SIMOX的总剂量辐照效应研究

钱聪 , 张恩霞 , 贺威 , 张正选 , 张峰 , 林成鲁 , 王英民 , 王小荷 , 赵桂茹 , 恩云飞 , 罗宏伟 , 师谦

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.04.012

研究了在改性注氧隔离(SIMOX)材料上制备的具有环栅和H型栅结构的部分耗尽NMOS晶体管在三种不同偏置状态的总剂量辐照效应.实验表明在10keV的X-射线总剂量辐照下,器件的背栅、正栅阈值电压负向漂移和漏电流都控制在较小的水平;在2Mrad(SiO2)的辐照下仍能正常工作.研究证实了无论哪种栅结构...

关键词: 绝缘体上硅(SOI) , 总剂量辐照效应 , 环栅结构 , H型栅结构

6H-SiC晶片的退火处理

姜守振 , 李娟 , 陈秀芳 , 王英民 , 宁丽娜 , 于光伟 , 胡小波 , 徐现刚 , 王继杨 , 蒋民华

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.010

本文在背景Ar气压力为8×104Pa、温度为1800~2000℃的条件下,对升华法生长SiC单晶的籽晶进行了原位退火处理,利用原子力显微镜和光学显微镜对退火后的6H-SiC晶片表面进行了观察,研究了退火温度和时间对晶片表面的影响.发现经过退火处理后的籽晶表面存在规则的生长台阶,有助于侧面生长模式的发...

关键词: 升华法 , SiC , 退火

硅粉形貌对人工合成高纯碳化硅粉料的影响

宁丽娜 , 胡小波 , 王英民 , 王翎 , 李娟 , 彭燕 , 高玉强 , 徐现刚

功能材料

合成了适于半绝缘碳化硅单晶生长的高纯度SiC粉料.实验发现,不同的硅粉形状、粒度以及合成温度、时间都对合成产物的形貌、组成和产率有影响.合成产物的形貌通过扫描电子显微镜(SEM)观察,结构通过粉末衍射法(XRD)测定.结果表明,合成产率与Si粉的表面积有十分重要的关系,表面积越大,合成产率越高.合成...

关键词: 高纯 , 合成 , 碳化硅粉

同步辐射背反射白光形貌术观察6H-SiC单晶中的小角晶界和微管

姜守振 , 黄先荣 , 胡小波 , 李娟 , 陈秀芳 , 王英民 , 宁丽娜 , 徐现刚 , 蒋民华

功能材料

利用同步辐射X射线形貌术对升华法生长的6H-SiC(0001)晶片中的小角晶界与微管缺陷进行了研究.小角晶界在同步辐射中的形貌成直线沿〈11- 00〉方向分布.根据螺位错附近的应变场和衍射几何,模拟了基本Burgers矢量大小的螺位错在同步辐射形貌像中的衍衬像,模拟结果与实验结果符合较好.据此指认了...

关键词: 同步辐射背反射白光形貌术 , 小角度晶界 , 微管 , SiC , 升华法

6H-SiC成核表面形貌与缺陷产生的研究

王英民 , 宁丽娜 , 彭燕 , 徐化勇 , 胡小波 , 徐现刚

人工晶体学报

利用光学显微镜观察了6H-SiC晶体成核表面形貌,并使用高分辨X射线衍射法检测了不同区域的结晶质量.根据表面形貌的不同将成核表面分为三个区域:平台区、斜坡区、凹坑区.平台区的结晶质量最好,斜坡区和凹坑区由于缺陷(例如微管、小角晶界和多型夹杂等)的存在导致结晶质量变差.依据温场分布以及籽晶的固定分析了...

关键词: 6H-SiC , 成核 , 表面形貌 , 缺陷

形变纤维增强高强度高电导率的Cu-Ag合金

王英民 , 毛大立

稀有金属材料与工程

通过对不同成分的Cu-Ag合金进行大形变量拉伸及热处理, 制成了具有高强度、高电导率的纤维增强复合材料, 合金线材的抗拉强度达到1.1 GPa、电导率为80%IACS. 研究了合金成分、形变及热处理在这一过程中对Cu-Ag合金力学性能、电学性能的影响. 并对其强化机理进行了讨论.

关键词: Cu-Ag合金 , 形变 , 热处理 , 高强度 , 高电导率

钢丝热镀锌-10%铝-混合稀土合金镀层工艺

裘海锋 , 王英民 , 苗立贤 , 侯志娇 , 苗瀛 , 杨冰

电镀与涂饰

利用电沉积原理,提出了一种在钢丝表面热浸镀锌-10%铝-稀土合金镀层的工艺,在热浸镀合金之前电沉积一层锌镀层,以代替普通的“双镀法”。给出了各工序的溶液配方及工艺条件。指出重点应放在钢丝的预处理上。采用2道电解脱脂以及石英砂擦拭、水溢流漂洗工艺,得到非常清洁的钢丝表面,才能保证镀层质量。给出了合金液...

关键词: 钢丝 , 锌-铝-稀土合金 , 热浸镀 , 前处理 , 缺陷

形变及热处理对Cu-Ag合金性能的影响

王英民 , 毛大立

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z1.013

本文通过对Cu-Ag合金进行大形变量拉伸及热处理,制成具有高强度、高导电率的纤维增强复合材[1].在此基础上,研究了形变及热处理对Cu-Ag合金力学性能、电学性能的影响.并通过对Cu-Ag合金初态、终态组织的分析,初步解释了其中的强化机理.

关键词: Cu-Ag合金 , 形变 , 热处理 , 高强度 , 高导电率

SiC厚膜快速外延生长刻蚀工艺研究?

毛开礼 , 王英民 , 李斌 , 赵高扬

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.01.024

10 kV以上高压功率器件的应用提出了高质量快速4H-SiC 外延生长工艺要求.4°4H-SiC 厚膜外延生长时,对于器件制备不利的三角缺陷和台阶聚并是常见问题,使用 HCl气体作为含Cl化合物,研究了不同刻蚀工艺、不同刻蚀温度对于4H-SiC外延层质量的影响.采用1620℃ HCl气体刻蚀衬底5 ...

关键词: 同质外延 , 氯化氢 , 快速外延 , 刻蚀工艺