皋华敏
,
李铁
,
许磊
,
刘翔
,
王翊
,
周萍
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.008
设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片.通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低.目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动.分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动.
关键词:
数字微流芯片
,
静电力
,
液滴
陈献新
,
何慧
,
贾德民
,
王跃林
,
刘莉
,
吴利民
绝缘材料
doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2006.01.017
聚硅氧烷具有优异的物理、化学性能,在众多的领域中得到广泛应用.文章阐述了聚硅氧烷的合成方法,其中重点介绍了应用较为广泛的阴离子引发的环硅氧烷的本体开环聚合,并对聚硅氧烷的应用情况进行了总结.
关键词:
聚硅氧烷
,
八甲基环四硅氧烷
,
本体聚合
,
乳液聚合
,
应用
付盛荣
,
熊斌
,
车录锋
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.012
主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响.在0.01-200o/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01o/s的输入角速度变化.考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10o/s时,整个系统即无法分辨0.01o/s的输入角速度变化.针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题.
关键词:
陀螺
,
电容式
,
检测
,
分辨率
吴雷
,
李铁
,
王立春
,
王翊
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.04.015
针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析.分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分布在整个加热区内,分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试,与实际情况吻合较好.
关键词:
微电子机械系统
,
面型微加热器
,
热分析
杨艺榕
,
刘文平
,
王跃林
,
吴亚明
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.01.012
提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧.芯片经初步封装后进行了电学测试和光学测试,测得吸合电压78.5V,谐振频率2.3kHz,光开关损耗5dB,隔离度45dB.
关键词:
MEMS光开关
,
(110)硅各向异性腐蚀
,
深反应离子刻蚀
周扬波
,
贾志欣
,
贾德民
,
王跃林
,
古菊
,
杨本意
功能材料
制备了三相纳米复合材料SBR/ZDMA/气相法白炭黑.采用了两种气相法白炭黑,U-fumed silica是一种未改性的气相法白炭黑,M-fumed silica是一种采用硅烷偶联剂Si69表面改性的气相法白炭黑.主要研究了气相法白炭黑和ZDMA之间的协同补强效应.研究结果显示,单独添加同样份数的改性气相法白炭黑和未改性气相法白炭黑对硫化胶物理机械性能的影响不同,改性气相法白炭黑的效果明显优于未改性气相法白炭黑.单独添加气相法白炭黑,体系的物理机械性能仍然维持在较低值.当同时添加气相法白炭黑和ZDMA时,会观察到明显的协同补强效应.交联密度和丙酮抽出试验表明对气相法白炭黑进行表面改性和在体系中添加ZDMA均会减弱气相法白炭黑表面羟基的影响.扫描电镜显示改性后气相法白炭黑在SBR中的分散性得到提高.在体系中添加ZDMA会提高气相法白炭黑的分散性.
关键词:
气相法白炭黑
,
丁苯胶
,
二甲基丙烯酸锌
,
互穿网络
,
物理机械性能
,
交联密度
刘义冬
,
李铁
,
王翊
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.03.007
提出一种采用正面开口进行湿法腐蚀释放热电堆的结构,通过利用高精度光刻、LPCVD(low -pressure chemical vapor deposition)薄膜生长、IBE(ion beam etching)干法刻蚀、TMAH ((CH3)4NOH)腐蚀等微机械加工技术,设计并制作了CMOS兼容的微机械多晶硅热电堆红外探测器.实验得到的器件成品率达到90%以上,响应率为12.5 V/W,探测率1×107 cmHz1/2/W,为进一步大规模红外面阵研究奠定了基础.
关键词:
红外
,
热电堆
,
微电子机械系统
李珂
,
冯飞
,
熊斌
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.01.008
本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计,该设计提高了器件的热-机械灵敏度,同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响.理论计算表明,该阵列器件的关键性能指标热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.39×10-3和2.42,此外,ANSYS模拟仿真的结果验证了该设计能抑制周围环境温度波动对器件红外目标探测的影响.
关键词:
光读出红外成像阵列器件
,
热-机械灵敏度
,
噪声等效温差
,
温度补偿
马铁英
,
李铁
,
周萍
,
刘文平
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.014
本文对PECVD制备的红外热敏材料掺磷非晶硅薄膜的两个关键热电参数-红外吸收系数和电阻温度系数-采用红外透射谱、拉曼谱和电阻率测量进行了深入的研究.实验结果表明,对样品进行退火30 min后,薄膜结构可以达到稳定;随着退火温度的增加,样品的红外透射率下降;当退火温度达到700℃时,薄膜完全晶化;与此同时,电阻率和电阻温度系数随掺杂浓度和退火温度的增加而减小.根据Lu的模型,对这些现象进行了解释并给出了制备和退火的优化条件.
关键词:
非晶硅
,
退火
,
红外
,
电阻温度系数
