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TFT制程中高厚度ITO残留因素的研究

王灿 , 陈宁 , 刘英伟 , 赵磊 , 薛大鹏 , 杜建华 , 郭炜 , 王路

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163103.0276

氧化铟锡(ITO)是薄膜晶体管工艺中最常用的透明导电薄膜,随着OLED技术的发展,ITO作为透明阳极材料也被广泛应用.在高厚度(尤其是大于70 nm)非晶ITO工艺过程中,由于多种因素的影响,很容易产生残留,发生残留后会严重影响产品质量和项目进度.本文通过多次实验测试,综合多种不同厚度,尤其是针对高厚度非晶ITO,分析了TFT制程中影响残留的多种因素,考察重点因素及影响规律,有效地修正工艺条件,为之后的项目和生产过程提供了很好的参考价值.

关键词: 薄膜晶体管 , 非晶氧化铟锡 , 残留 , 成膜 , 刻蚀

氧分压对铟镓锌氧薄膜晶体管性能影响

孙建明 , 周婷婷 , 任庆荣 , 胡合合 , 陈宁 , 宁策 , 王路 , 刘文渠 , 李东升

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163106.0558

采用标准的液晶显示屏基板制备工艺制备出铟镓锌氧薄膜晶体管(IGZO-TFT),通过调节 IGZO 薄膜工艺中氧分压,研究不同氧分压对TFT器件电学性能的影响.实验结果表明,所有器件都展现出良好的电学特性,随着氧分压从10%增加到50%,TFT的阈值电压由0.5 V增加到2.2 V,而亚阈值摆幅没有发生变化.在栅极施加30 V偏压3600 s后,随着氧分压的增加,阈值电压向正向的漂移量由1 V增加到9 V.经过分析得出高氧分压的 IGZO-TFT器件中载流子浓度低,建立相同导电能力的沟道时所需要栅极电压会更大,阈值电压会增加.而在金属-绝缘层-半导体(MIS)结构中低载流子浓度会导致有源层能带弯曲的部分包含更多与电子陷阱相同的能态,栅介质层(GI)会俘获更多的电子,造成阈值电压漂移量较大的现象.

关键词: 铟镓锌氧薄膜晶体管 , 氧分压 , 阈值电压漂移 , 电子积累层

水环境中典型抗生素SPE-UPLC-MS/MS检测方法的建立

张金 , 宗栋良 , 常爱敏 , 孟凡花 , 王路 , 邓吴斌 , 管运涛

环境化学 doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2015.08.2014121001

应用固相萃取(SPE)及超高效液相色谱-串联质谱(UPLC-MS/MS)技术,建立了快速提取测定水环境中4种四环素类抗生素(四环素、土霉素、强力霉素、金霉素)和6种磺胺类抗生素(磺胺嘧啶、磺胺甲基嘧啶、磺胺二甲基嘧啶、磺胺二甲氧嘧啶、磺胺甲噁唑和磺胺噻唑)的方法.水样经过HLB小柱浓缩萃取之后以C18柱为分析柱,乙腈和0.1%甲酸水溶液为流动相,采用UPLC-MS/MS多反应监测(MRM)离子模式进行分析.纯水和城市生活污水中抗生素物质检出限分别为0.015-0.12 ng·L-1、0.03-0.09 ng·L-1,平均回收率分别为88.7%-113.5%、73.7%-94.5%,相对标准偏差均在2.6%-10.6%之间(n=8).方法操作简单、定性定量准确,检出限低,能够满足测定各类水环境中四环素类和磺胺类抗生素痕量残留的分析要求.

关键词: 四环素类抗生素 , 磺胺类抗生素 , 固相萃取 , 超高效液相色谱-串联质谱

玻璃纤维表面化学镀

李丽波 , 王路 , 王珩 , 刘波

稀有金属材料与工程

金属导电玻璃纤维由于导电性能好、密度低、成本低、易于与树脂结合,成为一种优良的导电填料,可以用作电磁屏蔽材料或吸波材料.采用化学镀方法在玻璃纤维表面可以获得多种类型的合金镀层,以满足相应需要.论述了玻璃纤维表面镀覆不同合金的化学镀及其前处理工艺,介绍各种工艺的特点和镀层性能及其用途.

关键词: 化学镀 , 玻璃纤维 , 表面

电磁屏蔽导电复合材料

王路

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2009.03.018

在介绍电磁屏蔽原理的基础上,论述了近年来电磁屏蔽用表层导电材料和导电复合材料的特性与发展,并详细分析了影响导电复合材料电磁屏蔽性能的因素,展望了其研究趋势及应用前景.

关键词: 电磁屏蔽 , 导电材料 , 复合材料

乙醇对纳米CuO晶型及脱硫性能的影响

邵纯红 , 王路 , 李芬 , 姜安玺

功能材料

分别以硝酸铜水溶液和乙醇溶液为原料、氢氧化钠为沉淀剂,采用直接沉淀法制备了纳米CuO.通过TEM、XRD和XPS技术对比分析了乙醇对纳米CuO粒径及晶型的影响,并对比测试了制得的两种纳米CuO室温脱硫性能.实验结果表明:乙醇为分散剂制得的纳米CuO主要是球形,其平均粒径约为7nm,水为分散剂制得的样品中出现了大量棒形纳米CuO,尺寸约为8 nm×36 nm,说明溶剂极性影响纳米材料的粒径和晶型的形成;球形纳米CuO室温脱除H2S的活性时间是棒形纳米CuO的近两倍,表明纳米粒子的结构是影响脱硫性能的重要因素.

关键词: 纳米CuO , 乙醇 , 室温 , 脱硫

过渡金属对Mg2Ni氢化物电子结构和热力学稳定性影响:第一性原理研究

陈捷狮 , 曾含 , 王路 , 蓝志强 , 郭进

中国有色金属学报

采用基于密度泛函理论(DFT)的平面波赝势(PW-PP)方法,计算并分析了Mg2Ni1-xMx(M=Mn,Fe,Co,Ni,Cu,x=0.25)合金及其氢化物Mg2Ni1-xMxH4的电子结构和热力学稳定性.计算结果表明:Mg2NiH4和Mg2Ni1-xMx 的晶胞参数与实验值吻合较好.对Mg2Ni1-xMxH4的电子结构分析发现:氢化物中的Ni-H和M-H键为共价键、Mg-H键为离子键,且Ni-H与M-H键的相互作用强于Mg-H键的.Mn、Fe和Co的部分替代对Ni-H键的相互作用影响较小,而Cu的替代则减弱了Ni-H键的相互作用,这可能是Cu替代后氢化物结构稳定性降低的一个原因.计算了Mg2Ni0.75M0.25H4 (M=Mn,Fe,Co,Ni,Cu)的生成焓,分别为-57.7、-61.5、-61.4、63.4和41.6kJ/mol,与实验值吻合较好.

关键词: Mg2Ni , 第一性原理 , 电子结构 , 热力学稳定性

钛内衬复合材料环形气瓶结构设计与优化

祖磊 , 汪洋 , 王继辉 , 李书欣 , 王路 , 谢丽婷

材料工程 doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2016.02.009

根据微分几何,推导环形气瓶测地线缠绕轨迹以及缠绕角应满足的稳定缠绕条件,并针对不同切点数进行线型轨迹仿真.基于有限元分析,针对钛合金内衬环形气瓶的初始缠绕角及缠绕层数进行优化设计,并评估对比有、无环向补强层的环形气瓶承载能力.结果表明:本文设计的测地线轨迹精确可靠,很好地满足环形气瓶的缠绕工艺性.优化设计的缠绕参数既满足T艺可缠性,又能提高环形气瓶的结构性能.此外,有环向补强层的气瓶爆破强度提高了l4%,钛合金内衬屈服强度提高了24.8%.因此,采用环向补强层有利于进一步提高环形气瓶的承载性能.水压实验结果表明本文设计方法预测的变形和爆破压力与实验值吻合良好.

关键词: 复合材料 , 纤维缠绕 , 环形气瓶 , 测地线 , 结构设计

废旧锂离子电池溶胶-凝胶法制备CoFe2O4磁致伸缩材料的研究

席国喜 , 许会道 , 席跃宾 , 张文 , 王路

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.01.041

以废旧锂离子电池为原料,采用溶胶-凝胶法制备具有磁致伸缩性能的钴铁氧体.探讨了前驱体的煅烧温度和煅烧时间对钴铁氧体的晶型结构、晶粒尺寸、形貌以及磁致伸缩性能的影响.通过TG技术辅助确定适宜的前驱体煅烧温度范围;利用XRD表征钴铁氧体晶型结构;使用磁致伸缩性能测量仪测试材料的磁致伸缩性能.研究表明,前驱体适宜的煅烧条件为煅烧温度800℃,煅烧时间3h;适宜条件下所得产品的密度比为82%,其最大磁致伸缩参数为-1.012×10-4.

关键词: 废旧锂离子电池 , 溶胶-凝胶法 , 钴铁氧体 , 磁致伸缩

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